领先的过程解决方案供应商，广泛的应用，牛津仪器很高兴地宣布使用其高性能纳米采册纳米级生长系统开发和推出MOS2生长过程。
单层MOS2是直接带隙半导体，其在诸如LED，光伏，光电探测器和生物传感器之类的光电子中具有广泛的应用，而多层MOS2是间接带隙半导体，其在未来的数字电子中表示承诺。
牛津仪器的科学家们已经开展了广泛的研究和优化这一CVD过程，在配备有前体递送模块的纳米叶片系统上开发，能够提供适用于适用于2D材料生长的各种液体/固体/金属有机前体。亚博网站下载在包括蓝宝石和Ald氧化铝（Al2O3和SiO2）的一系列基材上提供增长，该系统能够沉积其他2D过渡金属二甲基化物（TMDC），如WS2，MOSE2等。
这个过程的发展和它的证明结果是非常令人兴奋的，因为我们在2D材料加工与纳米制造等离子体处理系统能力进入一个新的阶段。亚博网站下载拉曼分析已显示出高品质的单层，用AFM表示所得光滑和均匀的薄膜。我们预计这一发展中的二维材料的增长将促进下一代纳米电子设备。亚博网站下载
牛津仪器斯塔尔斯乐器技术的战略营销和商业发展总监Frazer Anderson
有关更多信息，请访问我们的网页：www.oxinst.com/mos2.
牛津仪器等离子体技术提供灵活、可配置的工艺工具和尖端工艺，用于精密、可控和可重复的微纳米结构工程。我们的系统为复合半导体材料的纳米层外延生长、纳米尺寸特征的刻蚀和纳米结构的可控生长提供工艺解决方案。
这些解决方案基于等离子增强沉积和蚀刻、离子束沉积和蚀刻、原子层沉积和深硅蚀刻的核心技术。产品范围从用于研发的紧凑独立系统，到批处理工具，以及用于高吞吐量生产处理的盒式到盒式集群平台。