SENTECH仪器领先供应商的等离子体工艺设备腐蚀和沉积薄膜计量仪器基于光谱椭圆光度法。app亚博体育
SENTECH自豪地介绍了新光谱椭圆计SENresearch 4.0。
SENresearch 4.0是一个创新的椭圆对称的解决方案具有宽的光谱范围和光谱分辨率最高。步扫描分析仪(SSA)原则是申请ellipsometric测量,即没有移动光学部件数据采集期间最好的测量结果。强度测量从机械运动解耦。SSA的扩展原理的创新2 c设计允许测量完整的穆勒矩阵。SENresearch 4.0附带SpectraRay / 4,新的综合椭圆光度法为先进材料分析软件。
宽的光谱范围
全世界SENresearch 4.0是唯一椭圆计可配置的光谱范围从190纳米到3500纳米近红外光谱(UV)。此外,它最高的光谱分辨率特性。厚膜(200μm)可以通过红外光谱分析了椭圆光度法。光谱椭圆计配置为完全符合用户的单个应用程序的需求。
有计算机控制测角仪和SENresearch 4.0手动测角仪。计算机控制的金字塔测角仪的新特性一个角度范围从20度到100度。光谱椭圆计武器可以移动独立散射测量和角度解决传输测量。
SENresearch 4.0允许时间分辨分析的创新设计的增长、沉积和蚀刻过程。山运动允许卸载椭圆计的武器从反应室和测角仪的附件。
新的选项和配件模块化概念
SENresearch 4.0光谱椭圆计与大量的磁场脱颖而出升级配件和选项。映射阶段,对各向异性样品转盘,2 c选项全部穆勒矩阵测量,基于视频的汽车高度和倾斜调整,微点,液体细胞,加热和冷却阶段,传播持有人的只是几个配件。椭圆计的配件可以直接购买或字段以后升级。SENresearch 4.0可以适应不断变化的应用程序使用现场升级配件。
SENresearch 4.0是理想的研发工具的调查新材料、复杂层堆栈和2 d和3 d周期性结构样本。亚博网站下载关于新的SENresearch 4.0的更多信息,请联系我们或通过邮件:(电子邮件保护)