SEMICON中国2016年:Edwards宣布新真空泵可用性

Edwards公司世界上最大综合吸尘消毒法制造商之一宣布SEMICON提供两个新吸尘泵编组®CVD应用iXL900R快速泵大扁板显示室

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Eduers致力于减少碳排放和能源消耗两位新产品家帮助客户减少制造作业对环境的影响, 并同时帮助客户降低成本 Paul Rawlings,副总裁营销公司、半导体公司和DSL商务公司Edwards

新的iXM干泵序列可减少环境冲击和客户成本推介和CVD流程,允许它们以最小能耗运行最新流程并保持最低环境噪声水平水泵设计用于高度腐蚀性取料过程时提供延长寿命与市场上其他泵相比,它们的脚印也低得多。

ixl900R是当前FPD加锁应用类中最快加锁泵客户可大幅降低运行成本和安装时间使用新泵,该泵特别适合最大负载锁槽用于等离子蒸气沉降应用此外,客户每加锁室需要较少水泵,从而减少安装时间、系统化费用、维护费和水电耗用

我们自豪地向客户提供新解决方案,帮助客户减少能源使用估计多至40%半导体工厂用电量由真空泵耗用,因此即使略微减少这个区域也会对总耗能产生显著影响。最新吸尘泵提高总体能效并节省独特闲置模式的耗用量,当不需要全电时可减少用电量。

现时中国政府赞助的激励机制为厂商提高自身能力并减少耗能最小化投资提供契机最近一位客户替换200泵程序,总节能达每天7 000千兆赫

Ma Zhen-Edwards应用管理员

Edwards产品和服务详情请访问或访问Edwards中国SEMICONN111008

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