艾克斯特朗SEOPTACAP™-200封装工具已出售给一家主要的亚洲显示器制造商。app亚博体育
该独立研发系统可处理200毫米× 200毫米的基板尺寸,于2015年第三季度订购,并计划于2016年第一季度交付。
创新的OPTACAP™等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术能够沉积高度灵活和有效的阻挡膜,用于OLED显示、OLED照明、有机光伏和柔性电子器件的薄膜封装。
“薄膜封装是OLED制造过程中的一个关键步骤。因此,我们很高兴能够为行业提供一种创新的解决方案,以提供高通量的优秀屏障膜。因此,该解决方案有助于显著降低柔性和刚性OLED器件生产中关键封装工艺步骤的制造成本。”
突破性的OPTACAP封装技术是2015年4月AIXTRONs收购硅谷PlasmaSi公司的主要动力。将该技术完全集成到爱思强现有的OLED业务中,是该公司并入爱思强集团的一部分。