Picosun Oy作为工业生产中原子层沉积(ALD)薄膜涂层解决方案的领先供应商,PICOPLATFORM™为半导体行业的大批量ALD制造提供了几款新的PICOPLATFORM™集群工具。
PICOPLATFORM™集群系统迅速成为Picosun生产客户的最爱。该系统的设计可容纳高达300毫米的晶圆,包括Picosun的最先进的技术解决方案和无与伦比的ALD专业知识,以及最广泛的单晶圆和批处理真空加载解决方案的选择。
这使得PICOPLATFORM™集群工具非常适合III-V半导体、LED和MEMS设备制造。目前出售的PICOPLATFORM™集群工具将安装在美国和亚洲领先的数十亿美元半导体器件制造商的生产设施中。
Picosun董事总经理Juhana Kostamo先生说:
“PICOPLATFORM™产品系列是我们的工业ALD技术的堡垒之一。这些系统在微电子元件和传感器制造等核心市场的重复销售再次证明了我们ALD设备设计的无与伦比的水平,以及我们在硬件集成、软件和工艺开发方面的卓越。app亚博体育
“结合我们领先的自动化批处理系统,旨在满足半导体行业最严格的要求,PICOPLATFORM™集群系统为快速、高效和低成本的ALD制造提供最全面的交钥匙解决方案。”
关于Picosun
Picosun提供最先进的ALD薄膜技术,凭借在该领域40年的持续专业知识,通过新颖、尖端的涂层解决方案,实现工业向未来的飞跃。今天,PICOSUN ALD系统在世界各地许多主要行业的日常生产中使用。Picosun总部位于芬兰,在北美、中国、台湾、新加坡和日本设有分支机构,并在全球拥有销售和支持网络。