在1965年，第一个商业立体扫描SEM由剑桥仪器公司建造，一个英国的前身公司蔡司显微镜有限公司．
为了纪念扫描电子显微镜50年前的首次销售，并庆祝扫描电子显微镜在众多领域和行业对科学研究的贡献，蔡司昨天在剑桥举办了一场庆祝活动。
西莉亚·莫斯(Celia Moss)与加里·斯图尔特(Garry Stewart)和查尔斯·奥特利爵士(Sir Charles Oatley)一起向菲利普亲王(Prince Philip)展示了首个商业SEM
在一个上午的谈话、午餐和博物馆参观期间，来自多个学科的客户和专家有机会与致力于开发第一批商业中小企业的科学家见面。
经过50年的不断发展和发展，SEM已经变得越来越多用途，并已坚定地确立为跨许多科学学科的先进研究不可或缺的工具。随着每年新的工业应用的出现，SEM也是全球范围内广泛行业的研究和开发、质量控制和分析的重要组成部分。
从其早期的材料科学，SEM建立了自己的学科电子亚博网站下载学，法医亚博老虎机网登录学和考古学。多年来，它已经发展成为自然资源行业的食品技术专家、生物学家、地质学家和岩石学家的一个关键工具，巧妙地进行调整，以满足这些个别应用的离散要求。
目前，在过程控制和失效分析中广泛使用微晶硅，对微晶硅的常规分析已成为半导体和汽车工业，以及更广泛的制造业的重要组成部分。
发展仍在继续:1965年在剑桥生产的第一批显微镜的直系后代是蔡司EVO家族。首次推出于2004年，并被广泛接受为行业领先的分析平台，有一些发展很快将推出EVO提供更多的灵活性，易用性，和进一步发展的探测器。
新的蔡司GeminiSEM系列配备了新颖的光学设计。纳米双透镜提供高对比度和亚纳米分辨率的图像。NanoVP允许在高达150pa的压力下使用镜头内检测。即使是充电样品，现在也可以得到高质量的成像。
同时，NanoVP提高了EDS数据的横向分辨率，为化学样品组成提供了更高的空间分辨率，从而从样品中获得了更多的信息。
立体扫描Mk 1，始建于1965年。
对蔡司
蔡司是一家国际领先的光学和光电技术企业。蔡司开发和销售光刻光学、测量技术、显微镜、医疗技术、眼镜镜片、相机和电影镜片、双筒望远镜和天文馆技术。凭借其解决方案，该公司不断推进世界光学，并帮助形成技术进步。公司分为工业计量、显微技术、医疗技术、视觉护理、消费光学和半导体制造技术六大业务集团。蔡司的业务遍及全球40多个国家，拥有30多个生产基地、50多个销售和服务地点以及25个研发基地。2013/14财政年度，公司收入约为43亿欧元，员工人数不到2.5万人。公司于1846年在耶拿成立，总部位于德国Oberkochen。蔡司股份有限公司是管理蔡司集团的战略管理控股公司。公司由蔡司基金会(Carl Zeiss Foundation)全资拥有。
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显微镜
显微镜商业集团是世界上唯一的光，x射线和电子显微镜系统的一站式制造商。投资组合包括生命科学和材料研究以及工业、教育和临床实践的解决方案和服务。亚博网站下载亚博老虎机网登录该商业集团的总部设在耶拿。其他的生产和开发基地位于德国的Oberkochen Göttingen和慕尼黑，以及英国的剑桥，以及美国的Peabody, MA和Pleasanton。这个商业集团共有3000多名员工。2013/14财政年度的收入为6.56亿欧元。