PicosunOy高质原子层沉积解决方案主提供商和加拿大卡尔顿大学报告全硅片上统一ALD金沉积
金片使用PICOSTUNM等离子ALD工具制作沈巴里新奇过程在美国波特兰州第15ALD会议演讲中描述
图像信用:Carleton大学Barry实验室
黄金是当今微电子学、光电学和微系统制造中高度寻人素材
由于其极好的化学惰性高热电传导性,它应用量过多,例如3D打包(通过互连)、 wifer打包和热散IC组件,并准备电联通、结构层和MEMS设备电极
数年来我们一直在研究金金属沉积化学 这一过程是一个突破亚博网站下载PICOSTUNAMALD系统优美处理各种先质,易于使用使挑战性材料过程开发容易得多PICOSTM等离子ALD工具能实现的一致性令人印象深刻,加拿大渥太华Carleton大学化学系副教授Sean Barry
令我们兴奋的是 ALD最近金矿挖掘Picosun等离子ALD技术最优处理金属沉积帮助黄金制造前, 现时出版的大规模结果肯定会吸引到我们众多生产客户对IC、MEMS和电子产业的兴趣,微信应用主管
关于Picosun
Picosun提供最先进ALD薄膜技术,通过新颖前沿涂层解决方案实现工业跃入未来,并拥有40年连续领域专业知识PICOSTTMALD系统每日在全世界许多大行业使用Picosun总部设在芬兰,子公司分布在美国、中国、台湾和新加坡,并
关于Carleton大学
卡莱顿大学位于首都,是一个动态研究教学机构,传统引导变化其国际知名教职员工和研究人员向来自世界100多个国家和省逾27,000名全时和半时学生提供学术机会亚博老虎机网登录Carleton创造性、跨学科和国际研究方法已导致科技、企业、治理、公共政策和艺术领域许多重大发现和创举作为一个创新机构,Carleton独创致力于开发现实世界问题解决方案