德国德累斯登Fraunhofer光学微系统研究所安装了FlexAL系统,用于从等离子增强热ALD牛津仪器等离子技术纳诺电子技术中心
FhGIPMS-CNT弹性应用:超薄三维电容器,ALD/PEALD前体开发
新工具使用领域包括研发超深三维电容金属氧化过程,开发新独有金属ALD过程,并作为一个平台组合筛选概念,包括现场计量测试和标准测试aLD/PEALD前体开发服务天然气和化工公司FlexAL将作为FraunhoferIPMSMOEMS实验线200毫米PEALD工具
纳米电子技术中心拥有原子层沉积的长期经验,这是一个复杂过程,单层后单层搭建Romy Liske商业单元管理员FhGIPMS-CNT表示,“ALD即选择过程,只要需要纳米范围薄膜精确厚度和成分控制。
半导体设备尤其如此,那里约数十纳米最小尺寸编译成片,并观察到高整齐薄ALD薄膜需求增加亚博网站下载开发ALD存储的材料和复合物可观地增加。”
严格招标过程后,选择牛津工具FlexALPELD系统是因为系统能高端ALD研发工具由FlexAL设计所启动的广泛流程允许将等离子体和热进程合并成完全自动化配方以及柔性先质柜,使组合式先质有效筛选与现场计量法
证明性能多功能牛津仪器FlexAL和多机室温度变异PEALD进程使它成为纳米电子技术中心“选择系统”。向这个名人研究所提供这个消息令我们非常高兴,David Haynes销售服务营销主管牛津仪器等离子技术
关于牛津仪器等离子技术
牛津仪器等离子技术提供灵活可配置流程工具以及精确可控和可重复微和纳米结构工程前沿流程系统为纳米尺寸特征、纳米层沉积和纳米结构受控生长提供进程解决方案
解决方案基础是等离子增强沉积和取层、离子波沉积和取层、原子层沉积、深硅缓存和物理蒸气沉积核心技术产品范围从紧凑单机研发系统到批量工具并上至高通量生产处理集群磁带对盒式平台
关于FraunhoferIPMS-Nano电子技术中心
Fraunhofer-Gesellschaft拥有23,000名员工,是欧洲应用研究的最大研究组织FraunhoferIPMS系统亚博老虎机网登录即67个设施之一,并成为应用科学与半导体生产点在Silcon Saxeny经济区内密切合作的范例IPMS在其纳米电子技术中心(IPMS-CNT)为微芯片生产者、供应商和研发伙伴进行300毫米硅片应用研究IPMS-CNT为进程模块纳米编程、高k设备、Internects/CU-Metall化和子网格描述服务基于广泛的专业知识和行业标准,开发与新流程可快速无风险整合到现有客户流程中,以节省时间并最小化生产成本