Picosun Oy该公司在MEMS、LED和其他III-V化合物半导体器件制造领域赢得了重要的生产市场。
为了向这些制造商提供始终最好、最全面的ALD解决方案，Picosun扩大了其自动真空批次样品处理系统的范围，为上述行业的要求进行了优化。
真空批量装载机可以与Picosun公司的P-300 Pro ALD工具集成，以实现氧化物、氮化物和金属的快速处理，具有高吞吐量和成品率。带有翻转选项的PICOSUN™P-300 Pro工具也可以组合到PICOPLATFORM™集群系统中，用于自动加载大批次晶圆片，而无需在卡式工作站、ALD室和其他集群模块之间进行真空中断。这些系统补充了Picosun领先的全自动化单晶圆处理选项。
“我们的批量和集束ALD工具与经过生产验证的SEMI兼容样品处理系统的持续成功再次证明了Picosun团队在ALD设备设计和制造方面的专业知识和经验的无与伦比的水平。app亚博体育无处不在的电子行业转向我们找到最好的增值解决薄膜涂层的挑战,我们多高兴地向他们提供这些,使最先进的微电子产品的今天,“总结Timo Malinen先生,Picosun的首席运营官。
关于Picosun
Picosun提供最先进的ALD薄膜技术，凭借在该领域40年的持续专业知识，通过新颖、尖端的涂层解决方案，实现工业向未来的飞跃。今天，PICOSUN ALD系统在世界各地许多主要行业的日常生产中使用。Picosun总部位于芬兰，在美国、中国、台湾和新加坡设有分支机构，并在全球拥有销售和支持网络。