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隐藏宣布新挂起塔处理气解析

全新垂直移动搭建塔隐藏式HPR-30低压处理气分析器稳定支持直接安装到1.8M(6ft)高度轻装处理端口

HPR-30辅助塔

HPR-30从1mbr运行到超高吸尘器,实时测量多低压过程的气体组成,包括真空涂层、等离子提取沉积、ALD和CVD等

四重质谱仪系统完全化,配有差分涡轮分子抽取、机内真空表选择器阀门供系统基与进程压间自动交换、PC接口和HidenMASoft控制程序

系统完全可编程自动化操作和数据报告多I/O信道使双向通信程序控制系统保持流程完整性,确认流程气态、气控阀函数和关闭效率、污染水平和空气渗漏,HPR-30额外函数高敏感漏漏检测器可选择优化使用hium或任何其他搜索气

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