等离子蚀刻和沉积处理系统的领导者牛津仪器等离子体技术最近,该公司赢得了纽约城市大学(CUNY)的PlasmaPro订单®蚀刻和沉积系统。
PlasmaPro 100 ICP和PECVD系统以及PlasmaPro 80 RIE工具将为这个正在为纽约城市大学开发的新设施提供广泛的工艺能力。
“城市大学高级科学研究中心(ASRC)亚博老虎机网登录将为大学带来一个具有里程碑意义的时刻,在其长达10年、数十亿美元的承诺中,成为具有重要现实影响的前瞻性科学研究的国家领导者,”研究副校长Gillian Small说。“ASRC及其核心设施,包括纳米制造设施,扩展了城市大学和纽约市的研究能力。牛津仪器系统提供高技术、领先的解决方案,满足我们的高规格要求。”
大卫·海恩斯是牛津仪器等离子体技术评论:“从美国领先的城市公立大学收到多个系统订单对我们来说是一个好消息,因为我们致力于用最新的技术提供领先的灵活解决方案。我们的PlasmaPro蚀刻和沉积工具将被放置在整个城市大学的研究人员用于纳米制造的洁净室中。这些系统将允许进行非常广泛的研究。”
城市大学新的先进科学研究中心拥有20万平亚博老虎机网登录方英尺的世界级设施,用于应用科学日益相互关联的学科,ASRC将聚焦城市大学在全球研究的五个最活跃的领域:纳米科学、光子学、结构生物学、神经科学和环境科学。