艾伯塔省纳米牛布大学是一家领先的加拿大开放访问制造和表征设施，最近购买了三个牛津仪器等离子体蚀刻系统。这些系统为当前安装的基础提供了升级的功能，并确保纳米支持者具有最先进的系统，从而促进了对其顶级专用型洁净室设施的不断增长的需求。
Plasmapro 100 Estrelas，Plasmapro 100 Cobra和Plasmapro 80 PE/RIE双模式系统将很快安装在纳米支持者中，为用户提供广泛的过程选项。
Plasmapro工具家族的最新成员是Plasmapro Estrelas100 Deep Silicon Etch Technology提供行业领先的流程性能，并且考虑到研发市场，该系统提供了最终的过程灵活性。可以实现纳米和微型结构，因为硬件的设计具有在同一室内运行Bosch™和冷冻蚀刻技术的能力。Plasmapro 100 Cobra和Plasmapro 80 PE/RIE系统的规格同样高，并且非常适合R＆D和生产需求。
在运行15年的时间里，纳米型公寓已被证明是一个伟大的学习，研发和少量的生产环境。我们努力为我们的研究和工业用户带来最高的结果。我们决定购买牛津仪器的决定基于其灵活性，质量和易用性，除了它们的广泛过程和从研究到生产的扩展能力。
纳米副总监埃里克·弗莱姆（Eric Flaim）博士
此外，Nanofab的运营经理Keith Franklin说：“我们获得的客户支持非常好；从维护到用户培训，牛津工具从其全球支持网络中展示了出色而可靠的服务。作为开放访问设施，我们旨在为用户提供最广泛的处理机会，而这些牛津工具系统将是一项巨大的资产。”