XEI科学公司。2014年11月30日至12月5日，在马萨诸塞州波士顿的材料研究协会秋季会议和展览上，他们将展示他们的最新产品，全新的真空EP等离子体除污染器。亚博网站下载
革命性的vactron EP等离子清洗系统是他们最新型号的远程射频等离子清洗系统。EP模型是为那些在物理和材料科学社区建造和使用定制设计的真空系统的人设计的。亚博网站下载亚博老虎机网登录
真空EP除污器为用户提供如下功能和技术:
- 节能空心阴极等离子体
- 供气流量
- 等离子体自由基源设计最大限度地将自由基传递到室中
- 等离子体的“Pop”点火在所有低于100Pa或750 mTorr的压力下工作
- 低压操作@1-3 Pa，自由基寿命长，清洗速度快
- 能在与涡轮分子泵兼容的压力下启动和运行吗
- 固定匹配提供最大的等离子能量传输
- 预置了最佳的清洗条件
参观MRS Fall 2014展览的1028号展位，了解更多关于真空EP等离子体除污染器的信息。