爱思强的下一代MOCVD工具通过顶级的生产性能，最低的拥有成本和主要的生产力提高。
全球领先的半导体沉积设备供应商爱思强(AIXTRON SE)在中国SSL国际贸易展上展示了其下一代MOCVD系app亚博体育统。
新的AIX R6是为生产基于氮化镓(GaN)的led而设计的，可以在12x6-、31x4-、121x2-英寸晶圆配置下交付。配备了许多技术创新，新工具将大大降低运营成本，同时简化可用性和过程控制。
“我们的新AIX R6解决了LED制造商目前面临的最重要的挑战:高度竞争的市场，不断下降的设备价格，驱动了对低成本生产设备的需求。app亚博体育AIXTRON首席执行官兼总裁Martin Goetzeler表示:“AIX R6旨在满足客户高效生产的需求，使他们能够优化制造成本。”
“我们从三安获得的突破性订单证明，在今天正式发布AIX R6之前，我们的新AIX R6已经通过其性能和价值主张说服了一家关键市场参与者。”
AIX R6基于爱思强的紧密耦合淋浴头®(CCS)概念，这是一项在众多市场获得高度认可的关键技术。它以其优异的化学效率和固有的沉积均匀性而闻名。
与当前一代系统相比，AIX R6的拥有成本提高了30%以上，吞吐量增加了120%以上，为LED量产制定了新的标准。
Andreas Toennis，首席技术官德国爱思强公司股价他强调了新型MOCVD设备的优点:“AIX R6的开发高度关注客户的生产需求。app亚博体育我们非常重视通过更大的容量、更多的自动化、更高的可靠性和更长的正常运行时间来最大化吞吐量。通过增强的温度监视和控制系统改进的过程控制是AIX R6的另一个关键特性。一种新的过程控制系统消除了温度变化，提高了再现性和成品率，还可以缩短周期和快速校准。”