Aixtron Se.（FSE：AIX; NASDAQ：AIXG）是全球领先的半导体行业沉积设备的提供商，今天日本制造商Showa Denko已成功合格，公司最app亚博体育近的制造碳化硅（SIC）外延晶片的系统。
新的AIX G5 WW（暖墙）系统配置为处理8x150 mm和12x100mm的SIC基板。目前，它是市场上最大的生产系统，可实现最高的吞吐量和每个晶圆的最低运行成本。
Showa Denko的SIC外延操作展示了市场上最大的制造能力之一。公司开始从4英寸（100毫米）到6英寸（150mm）上生产的过渡在2013和目前正在扩大其用AIXTRON设备150毫米碳化硅容量。app亚博体育150 mm SIC技术提供了大幅度降低生产成本的机会。
AIX G5 WW系统由Aixtron的日本服务和流程团队符合客户的紧张时间表：在2014年第一季度安装后，设备于2014年4月上半年发布生产。app亚博体育
SIC生长过程要求晶圆温度高达1600°C。由于行星®设计概念，其中每个单独的晶片在处理过程中在前体的水平层流下旋转，AIX G5 WW提供卓越的均匀性。结果，该系统提供了非常精确的过程控制层厚度和掺杂剂均匀性，具有非常低的SiC缺陷密度，从而满足高生产要求。
碳化硅高功率器件可实现节能电力电子系统。范围从600到3.3千伏（千伏）的SiC晶体管和二极管装置在电源中使用并且被设计成DC-DC转换器，用于太阳能工业和电力转换器，用于牵引应用的逆变器。