一个额外的牛津仪器PlasmaPro 100等离子蚀刻系统最近下令微观和纳米研究中心和制造中国科学技术大学(科大)合肥城市,安徽省,增加他们的装机量已经显著的牛津仪器主要腐蚀和沉积系统。亚博老虎机网登录
系统安装在科大的新开的洁净室,将用于基础研究到越来越重要的量子信息处理领域。
多个牛津仪器等离子体系统,包括PlasmaPro 100 ICP380 PlasmaPro RIE NGP 80,和100年PlasmaPro PECVD沉积"工具已经安装在科大的新设施在过去的一年。
“我们最新的牛津仪器等离子蚀刻系统将加强前沿研究能力在量子信息处理中,目前正在进行在我们优秀的新设施。”朱教授说,从出发,“我们选择牛津仪器系统,我们发现他们提供广泛的过程能力,和极大的灵活性,支持优秀的支持和服务包。这些工具将允许我们的研究人员将限制在微观和纳米尺度的基础研究”。
朱教授继续说,“科大有很强的背景在纳米科学与工程,和这个新的先进的纳米加工设施旨在推动合作,跨学科,基础研究在微观和纳米级。”亚博老虎机网登录
大卫·海恩斯博士评论,销售和营销主管牛津仪器等离子技术,“我们很高兴,科大放置另一个订单在我们公司,增加他们的套房我们行业领先的等离子体刻蚀和沉积系统。以及提供系统生产,我们的系统在全球范围内用于基础研究和开发,利用许多新的和先进的技术,让我们的系统安装在科大进一步量子计算对我们来说是好消息”
量子信息处理将在牛津仪器的主要话题之一的纳米技术工具车间从24-25th 9月在北京2天,看到的更多信息:http://www.oxford-instruments.com/BTNT-Beijing