摩根高级材料亚博网站下载宣布使用化学气相沉积（CVD）工艺种植的材料范围的进展。亚博网站下载
摩根CVD Silicon Carbide (SiC) and Pyrolytic Boron Nitride (PBN) materials are ideal for use in semiconductor applications, including rapid thermal processing and plasma etch process chamber components, as well as metalorganic CVD tools for high-brightness white LED manufacturing using the indium gallium nitride process.
Sic戒指
摩根的改善的CVD SIC生长能力使得在最近开发的等离子体蚀刻应用的生产体积中，厚度为300+毫米直径的组件。通过访问世界级超声波加工能力，摩根提供高耐受性CNC加工和精密硬磨，以及用于生产聚焦CVD SiC环形的专利RMAX方法。
摩根高纯度（99.999％+）SIC材料具有高导热性，对化学腐蚀具有耐化学侵蚀，具有最小的颗粒生成，使其适用于氯和氟等离子体蚀刻工艺。该材料非常适合于生产GDMS（气体分配板），其中材料的腐蚀性可能导致长寿命和延长工具PM调度。超声波钻孔可以提供小径为0.5mm的孔，非常适用于定制蚀刻应用。
高纯度（99.99％+）PBN材料的工作温度超过1500°C，具有亚博网站下载高电阻率和高介电强度。极低的外渗透，非润湿和无毒，PBN材料对大多数酸，碱和有机溶剂具有惰性，并且在“A”方向上具有高导热率。亚博网站下载先进的材料是PBN涂层石墨亚博网站下载加热器和PBN活力细胞组分制造商的良好选择。
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