应用材料公司今天亚博网站下载宣布了瓦里安VIISta应用®900 3 d系统,该行业的最先进的medium-current离子注入工具发达制造业FinFET和3 d NAND sub-2x纳米节点设计。
该系统功能创新精密材料工程提供前所未有的控制需要改进设备性能,减少可变性,并提高产量日益复杂亚博网站下载的高性能、高密度三维设备。
VIISta 900 3 d系统提供了增强的波束角精度、突破梁形状精度和优越的剂量均匀性控制,使客户实现过程可重复性和优化设备性能。系统的独特的热植入技术和三磁铁架构另外增加产量减少缺陷。这些组合功能支持所需的精密植入制造复杂的三维结构。
“消费者对增强流动性的需求带来了巨大的压力在芯片制造商提供更高的性能,更低的电力设备,导致复杂的挑战,”加里·罗森说,副总裁和总经理应用的瓦里安半导体设备业务单元。app亚博体育“专门开发的3 d设计,900年VIISta 3 d离子注入工具帮助解决客户的艰难设备挑战通过提供最纯粹、最精确的植入物用于改善设备性能和屈服。”
VIISta 900 3 d体系的一个重要创新是其SuperScan 3技术,利用工具的独特的光束形状控制支持定制的晶片剂量模式提供准确的,精确的剂量为几乎任何想要的模式。SuperScan 3纠正non-implant过程变化为3 d设备提高设备性能和产量。这些功能与生产力的提高和系统的高吞吐量为客户提供重要的所有权成本效益。
补充FinFET的尖端功能和3 d NAND闪存设备制造、精密和low-contamination VIISta 900 3 d工具的性能也使一个最优解掺杂CMOS图像传感器的光电二极管和逻辑层。
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