住友电器创新公司订购AIXTRON系统以扩大生产能力

从…起艾克斯顿2014年6月3日

日本住友电器创新有限公司（SEDI）已订购AIXTRON CRIUS®MOCVD系统将采用4英寸晶圆配置交付，以促进射频数据传输应用的碳化硅设备上氮化镓的生产。该项采购于2014年第一季度完成，第三季度在横滨的SEDI电子设备部门交付。

SEDI正准备从2015年开始扩大需求，并选择了AIXTRON系统，因为它在4英寸晶圆均匀性和精确过程控制方面享有无与伦比的声誉，这对于成本密集型碳化硅晶圆的设备生产尤为重要。新反应堆将配备可选功能，如动态间隙调整、ARGUS现场温度控制和EpiCurve TT计量系统。ARGUS监控设备实时提供完整的晶圆映射，以实现生长过程的最佳控制。通过调节喷头和基板之间的工艺间隙，可实现更大的灵活性。

住友电气设备创新有限公司因提供一些最好的射频组件而在业界享有盛誉。该公司已经为雷达、移动电话基站和一般应用提供了一系列GaN HEMT（高电子迁移率晶体管）器件。这些HEMT器件具有高达14GHz射频的高功率放大，这是SiC晶体管上的GaN提供的。

引证

请使用以下格式之一在您的论文、论文或报告中引用本文：

APA
艾克斯顿。（2019年，2008年2月）。住友电器创新公司订购AIXTRON系统以扩大生产能力。亚速姆。于2021年11月13日从//www.washintong.com/news.aspx?newsID=41412.
MLA
艾克斯顿。“住友电器创新公司订购AIXTRON系统以扩大生产能力”。亚速姆. 2021年11月13日.
芝加哥
艾克斯顿。“住友电器创新公司订购AIXTRON系统以扩大生产能力”。亚速姆。//www.washintong.com/news.aspx?newsID=41412. （查阅日期：2021年11月13日）。
哈佛
艾克斯顿。2019住友电器创新公司订购AIXTRON系统以扩大生产能力. 亚速姆，2021年11月13日查看，//www.washintong.com/news.aspx?newsID=41412.