2014年5月31日
酋长宣布释放揭示腐蚀™,湿化学旨在使单级的硅蚀刻/ TSV揭示过程。酋长和固态设备,LLC (SSEC)开发的过程app亚博体育这一化学和优化其使用单晶片处理器。
柯林斯酋长Associates Yongqiang博士,西安,凯文•麦克劳林博士和克雷格•艾伦博士结合SSEC同事劳拉·b·莫尔约翰塔代伊和Ramey尤瑟夫,共同发表技术论文一个新的湿法替代波兰/等离子体蚀刻TSV揭示过程。
SSEC和酋长从事新化学自2013年初以来。2014年2月,这两家公司生产的技术论文和IEEE电子组件和技术会议上介绍了他们的研究成果(2014年ECTC)周四,5月29日。
SSEC着手进一步优化其化学反应过程与酋长合作开发一个专有的水化学,不含钾和残渣是免费的。这不仅新化学处理许多问题限制湿加工使用,但有显著的成本节约的消除广泛的KOH残留清洁步骤。
“酋长揭示化学蚀刻是一个关键的组件我们TSV探测器配置最新SSEC平台称为WaferEtch™,”声明该款Le Roy SSEC营销副总裁。”经过多年的专门研发2.5 d / 3 d应用程序,我们启用了所有权成本最低的设备通过整合所有的关键组件在一个单一的工具——硅厚度测量来确定准确的端点,湿化学腐蚀与spin-etch避免使用单独的CMapp亚博体育P设备,最后与揭示腐蚀化学蚀刻均匀公开tsv和湿洗。”
“酋长的发展揭示腐蚀化学结合形成我们的核心能力,广博的知识的高纯硅蚀刻和我们的专业知识。我们的解决方案优化腐蚀速率和表面粗糙度,”凯文•麦克劳克林说酋长全球电子材料市场经理。亚博网站下载“我们已经迈出了重要的一步,使TSV过程结合我们的专业知识与SSEC,“麦克劳克林说。
电子组件和技术会议(ECTC)是国际事件,汇集了最好的包装,组件和微电子系统科学、技术和教育的环境合作和技术交流。亚博老虎机网登录ECTC是由组件、包装和制造技术(CPMT) IEEE协会。
来源:http://sacheminc.com