量子计算这一新兴领域的研究将在北京清华大学跨学科信息科学研究所(IIIS)进行，使用的是最近从高科技系统制造商那里购买的等离子体系统亚博老虎机网登录牛津仪器．
IIIS目前正在安装一个新的洁净室，并从牛津乐器，等离子蚀刻和沉积晶圆加工系统中选择的工具，提供三个系统承接这一重点研究，PlasmApro100 ICP蚀刻系统，PlasmApro100 PECVD沉积系统与TEOS，和柔性ALD系统，这是由于它们的高性能，灵活性和易于服务而理想的研究。
清华大学副研究员宋博士表示:“我们在经过严格的招标过程，比较了系统的功能和成本后，选择了牛津仪器系统。我们之所以决定购买其等离子蚀刻和沉积工具，是因为牛津仪器的广泛工艺和应用，该全球供应商提供的系统套件，以及为客户提供的优质服务和支持。我们期待尖端研究取得优秀成果。”
宋博士继续，“iiis旨在成为世界跨学科信息科学领域的领先研究中心之一，并为中国理论计算机科学和量子信息科学的研究和教育提供了一个设施。亚博老虎机网登录我们致力于建设和经营世界一流的量子纳米制造设施，以清华大学研究人员和合作者的综合利益。“
“我们的系统一直被用于基本的研发，涉及新的和先进的技术，以及我们的技术将在IIIs上安装以进一步的量子计算，对我们来说最令人兴奋”，销售和营销总监David Haynes博士，牛津仪器等离子体技术。
关于牛津仪器公司
牛津仪器设计、供应和支持高科技工具和系统，专注于研究和工业应用。50多年来，创新一直是牛津仪器发展和成功的动力，其战略是通过及时将这些想法带到市场和以客户为中心的方式来实现成功的商业化。
牛津仪器是第一家从牛津大学剥离出来的科技企业，目前是一家全球公司，在全球拥有2300多名员工，并在伦敦证券交易所FTSE250指数(oxg)上市。其目标是成为以纳米技术为重点的研究和工业部门的新一代工具和系统的领先提供者。其主要市场领域包括纳米制造和纳米材料。亚博网站下载公司的战略是将业务扩展到纳米技术和生物技术交叉的生命科学领域。亚博老虎机网登录
这涉及核心技术在低温，高磁场和超高真空环境中的组合;核磁共振;X射线，电子，激光和光学计量;原子力显微镜;光学成像;先进的生长，沉积和蚀刻。
牛津仪器致力于通过科学和技术实现负责任的发展和对世界更深层次的理解。亚博老虎机网登录其产品、专业知识和理念解决了能源、环境、安全和健康等全球问题。
关于牛津仪器等离子体技术
牛津仪器等离子技术提供灵活、可配置的工艺工具和前沿工艺，用于精密、可控和可重复的微纳米结构工程。我们的系统为纳米尺寸特征的蚀刻、纳米层沉积和纳米结构的受控生长提供工艺解决方案。
这些解决方案基于等离子体增强型沉积和蚀刻，离子束沉积和蚀刻，原子层沉积，深硅蚀刻和物理气相沉积的核心技术。产品范围从紧凑的独立系统用于研发，通过批量工具和高通量生产加工的集群磁带到盒式磁带平台。