Plansee开发从易碎金属、石墨和陶瓷中改良替代部件供所有大制造商离子移植者使用最新开发为 staHCP高性能提取集成
Varian原提取组件中的残留气体会减少电极分解电压并导致 staHCP、HCS、Tridgeds和NexGen配置系统高故障率高闪存可破坏离子束稳定不稳定性还加速电极穿戴,导致更频繁维护并替换组件
需要替换提取组件和零件,包括相关故障成本巨大并促进Plansee制作完全重构提取组件
普林斯Idese显示减少破解大于量级并按例清洗服务寿命平均比原装配长3至4倍
新设计核心为可透气通心粉浮标方便电极间和后抽取,从而减少抽取组件中的剩余气压降压提高分解电压并产生极低故障率
光滑问题不是唯一问题:用时替换原提取组件既费钱-停机费-又难解难解原取集约8.2kg并常需要二人联合努力安全清除工具普林斯工程师用高质量石墨替换钢、和铝组装组件,将组件转换成3k轻标尺并增强热稳定性增益中,铁的潜在破坏性污染是过去的事情
加速装配并降低重置部件成本时,理想提取电极设计自对称,允许安装任一槽位并易转以抵消潜在的悬殊损耗Plansee团队成功大幅改善电极组装并增加服务寿命不需要对齐工具
Mike Reilly负责开发Plansee半导体行业组件并总结Plansei理想提取法的优缺点:“我们高级标准Ideal提取法改进电极漏洞抽取并从而限制排出、减少涂层并改进服务寿命。工程师全新全景并能够降低复杂性同时提高汇编和对齐性-良好设计标志最终化石分享构件和概念 遍及全七星高流平台 简化维护与供应链挑战
staHCP系统、 staHCS系统、Tridents系统NexGen配置