亚博网站下载运动性能Quartz公司增产并扩充对碳化电设备的需求并增加对硝化LED的维控需求扩展后MPM能产生750毫米直径部件,而前500毫米限制
直径增量可帮助实现下一代SIC上下文工具,并可用替代保护涂层为当前GAN工具提供改进维控
MPM电容程序使用专有涂层过程制造,在上下文过程对热氢产生极强抗药性SIC涂层在1200-1400摄氏度开始分解,而TAC一般稳定到2 000摄氏度此外,涂层可提供异常维控件,并因此提供统一和相容涂层,甚至在长叉口袋和复杂形状上也是如此。TAC涂层用于MOCVD工具制作GAN和SIC设备
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