Hiden Analytical生产的新型真空过程气体分析仪

从…起希登分析2014年1月22日

契约希登HPR-30差分泵送质谱仪能够在1mbar到10E-4mbar的压力范围内实时测量和控制真空过程中的气体成分，解决多个过程领域，包括真空涂层、等离子蚀刻、溅射沉积、CVD/MOCVD和RIE。

该系统直接安装到工艺室，紧密耦合的可重入式样品提取管直接插入工艺环境中，以便对气体成分的状态变化做出最快的响应，积分微分涡轮分子泵确保质谱仪（MS）通过高达1mbar的工艺压力，继续在超高压环境中运行。或者，HPR-30可以安装在手推车上，带有远程过程系统联轴器，用于定性气体分析和泄漏检测。

该系统是全PC控制和可编程的自动操作和数据报告。多个输入通道可以使过程数据，如过程压力、温度、进气/关闭状态等，与获得的质谱完全集成。

有关此或任何其他的进一步信息希登分析产品联系Hiden分析公司[受电子邮件保护]或访问主要网站www.HidenAnalytical.com．

引证

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针孔分析。(2017年8月01)。新型真空过程气体分析仪。AZoM。于2021年10月1日从//www.washintong.com/news.aspx?newsID=39791检索。
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针孔分析。新型真空过程气体分析仪。AZoM．2021年10月1日。< //www.washintong.com/news.aspx?newsID=39791 >。
芝加哥
针孔分析。新型真空过程气体分析仪。AZoM。//www.washintong.com/news.aspx?newsID=39791。(2021年10月1日生效)。
哈佛
希登分析》2017。Hiden Analytical生产的新型真空过程气体分析仪．viewed september 21, //www.washintong.com/news.aspx?newsID=39791。