Bruker（纳斯达克：BRKR）今天宣布发布Dektak XTL Stylus Profiler，将其行业领先的触控笔的曲线能力扩展为200和300毫米半导体晶片Fab和下一代触摸面板制造商。
Dektak XTL Stylus Profiler
该系统提供最具成本效益，全300毫米晶片解决方案，用于表征薄膜步进高度，抵抗步高，线边缘粗糙度，CMP凹陷和侵蚀，以及滚动量（ROA）。Dektak XTL将数十年的触控笔创新与针对QA / QC环境的新功能相结合，以实现加载和卸载样品之间的准确性和最小操作员干预。
“Bruker的Dektak XTL拥有12英寸的舞台，是其班级中最先进的系统，”中国晶圆级CSP股份有限公司（WLCSP）集成部门项目总监Roger Lee表示。“该系统稳定可靠，它采用了许多强大的功能和易用性功能。Bruker的手写笔分析师始终领先技术，他们始终符合生产中的计量要求。“
“Customers like WLCSP have been asking for a larger scale stylus measurement system to support their latest 300mm wafer factory needs with the accuracy and industry-proven repeatability of our traditional Dektak products,” added Kent Heath, General Manager of Bruker’s Stylus and Optical Metrology business unit. “With the Dektak XTL we have delivered on this need with its 5 nanometer repeatability, and we have built-in a new level of point-and-click automation for maximum productivity that is unrivaled in the industry. Our early access customers have been amazed by how intuitive it is to use for production and development applications.”
关于Dektak XTL.
Dektak XTL采用小型占地面积，具有气动被动隔离和具有宽阔，易于接近的互锁门的完全封闭的工作站，适用于苛刻的生产楼层环境。其双摄像机架构可实现增强的空间意识，其高度自动化最大化制造吞吐量。Bruker的独家Vision64®高级生产界面（API）具有模式识别，可针对严格的QA / QC要求优化系统，并使数据收集成为直观和可重复的过程，最大限度地减少操作员到操作员的可变性。
关于Bruker Corporation（纳斯达克：BRKR）
Bruker Corporation是高性能科学仪器和分子和材料研究解决方案的领先供应商，以及工业，诊断和应用分析。亚博网站下载有关Bruker Corporation的更多信息，请访问www.bruker.com。