艾克斯特朗SE半导体行业沉积系统的领先供应商Manz AG与总部位于Reutlingen的专业工程公司Manz AG达成了战略合作协议。
双方合作伙伴将致力于进一步开发用于高效有机发光二极管(OLED)生产的解决方案,旨在共同开发未来市场为OLED技术提供的机会。
在合作范围内,合作伙伴将开发一种新系统,以证明基于AIXTRON专利OVPD工艺技术的高效有机层沉积,基板尺寸可达Gen8(2300 mm x 2500 mm)。新的演示系统将首次能够以合理的价格概述该技术在高效生产用于工业规模的显示器和照明应用的有机发光二极管方面提供的优势。
曼茨将在净化和处理大型玻璃基板以及开发和制造大型真空系统方面贡献其丰富的经验。由于高效有机层沉积被认为是经济可行的大规模OLED生产的关键步骤,AIXTRON在此合作中的一部分将是进一步开发其OVPD工艺技术。通过这种方式,将有可能制造出具有高材料效率和沉积速率的极均匀、易于扩展的薄膜。
新系统将在未来几个月在AIXTRON的洁净室组装。除了展示专有OVPD工艺及其在大型基板上的可扩展性外,一个关键焦点将是新组件的鉴定。在降低制造成本的同时,提高产量是实现OLED技术更大市场渗透的先决条件。这反过来又要求启动更高效的生产流程,同时使用大幅面基板。
OVPD技术已由美国新泽西州尤因市环球显示公司(UDC)独家授权给AIXTRON进行设备制造。OVPD技术基于美国普林斯顿大学Stephen R.Forrest等教授的一项发明,该发明专门授权给UDC。AIXTRON和UDC共同开发并鉴定app亚博体育了OVPD预生产设备。