德国莱布尼茨固体和材料研究所德累斯顿综合纳米科学研究所(IFW Dresden- i亚博网站下载in)不久将安装多个亚博老虎机网登录牛津仪器等离子体技术“芯片上的实验室”集成研究系统。
牛津仪器FlexAL原子层沉积系统将用于高长宽比多功能智能管的低温保形涂层。两个等离子体目前正在安装带有ICP 180的Pro100系统，用于制造多功能膜、微流体和微/纳米光子结构。
作为等离子蚀刻和沉积设备和工艺的领导者，牛津仪器可以为其客户提供全套系统，允许多种等app亚博体育离子技术的多功能性结合。此次收购将使IFW Dresden-IIN进一步开展创新研究。
德累斯顿国际医学院洁净室主任斯特凡·哈拉齐姆博士说，“我们在德累斯顿国际机器人研究所的研究活动涵盖了纳米科学领域的大量现代主题，从柔性磁电子学和波长可调谐的量子光源超灵敏的管中实验室系统，到紧凑的片上能量存储设备和自主微/纳米机器人系亚博老虎机网登录统。因此，我们需要最好的研究设备，选择牛津仪器系统是因为其卓越的性能、多功能性和客户支持app亚博体育。”
牛津仪器久经考验的多功能性FlexAL和等离子体Pro System100工具使它们成为IFW Dresden-IIN集成工作的‘首选系统’”，牛津仪器等离子技术业务集团总监Michelle Bourke说。“我们的尖端设备为应用学术研究提供了app亚博体育坚实的基础，并具备规模化生产的能力。我们为能够参与为许多开创性应用的材料的微纳米工程提供工艺解决方案而感到自豪。”亚博网站下载