富士胶片公司(社长:中岛重弘)imec(CEO: Luc Van den hove)开发了一种新的光刻胶1有机半导体技术2这使得亚微米的实现成为可能3.模式。
由于有机半导体的重量轻,灵活性强,而且可以大面积生产,近年来对有机半导体的研究和开发得到了加强。有机半导体可用于各种应用,如有机太阳能电池、柔性显示器、有机光电探测器和各种其他类型的传感器。
目前用于有机半导体图案的方法包括阴影遮罩和喷墨打印。然而,这些方法不适用于大尺寸基片上的高分辨率刻划。基于光刻技术的图案可以解决这个问题。但目前主要采用光刻技术来制作硅半导体的图案。当使用标准光刻胶将其应用于有机半导体时,光刻胶在加工过程中溶解了有机半导体材料。
富士和imec开发了一种新的光刻胶技术,可以在不破坏有机半导体材料的情况下在大尺寸的基片上进行亚微米图案的刻划。亚博网站下载将富士胶片的半导体加工技术和imec技术结合富士胶片的合成有机化学材料设计技术,开发出新的光刻胶技术。由于现有的工字线光刻设备可以使用,而且对新设备的投资是不必要的,新技术有助于高app亚博体育分辨率有机半导体器件的成本效益生产。
为了进行技术验证,富士和imec利用新的光刻技术开发了有机光电探测器(OPD)7和有机发光二极管(OLED)8,并测试了它们的性能。将有机半导体材料制成图案,制成由精细的光接收亚博网站下载元件组成的OPD,其尺寸可降至200μm×200μm。
通常,有机半导体材料的图案化会降低光转化为电的特性(光电转换特性),但在本案例中开发的OPD是亚博网站下载没有退化的图案化。采用新开发的光刻刻蚀法生产的OLED阵列实现了20μm间距的均匀发光OLED。
Fujifilm和imec将继续通过推进半导体材料、加工技术和系统集成的研究和开发,为有机电子的产业化做出贡献。亚博网站下载
imec首席执行官:Luc Van den hove。
关于富士胶片公司
富士胶片株式会社是富士胶片控股的主要经营公司之一。自1934年成立以来,公司在照片成像领域积累了丰富的先进技术,目前富士正将这些技术应用到其他新的业务领域。
富士为包括医疗系统/生命科学、平面艺术、文档解决方案、电子材料、光学器件和数字成像等高功能材料在内的广泛行业带来持续创新和前沿产品。亚博网站下载亚博老虎机网登录富士以其领先的、专有的技术为全球人民提供高品质的产品和服务,以帮助提高人们的生活质量。通过其企业理念,富士展示了为社会做出重大贡献的承诺。
关于imec
Imec在纳米电子学方面的研究处于世界领先地位。Imec利用其在信通技术、医疗保健和能源领域的全球伙伴关系的创新力量,利用其科学知识。Imec提供与行业相关的技术解决方案。在独特的高科技环境下,其国际顶尖人才致力于为可持续发展的社会提供更美好生活的基石。Imec总部位于比利时鲁汶,并在比利时、荷兰、台湾、美国、中国、印度和日本设有办事处。拥有2000多名员工,其中包括650多名工业居民和客座研究员。2012年,imec的收入(损益表)为3.2亿欧元。
光刻胶:由于光照而引起光化学反应的光敏材料,在暴露部分和亚博网站下载未暴露部分具有不同的显影剂溶解度,用于半导体生产中的微细加工。
有机半导体:具有半导体性质的小分子有机化合物和聚合物。
亚微米:1/10000mm。1/10微米。
遮影法:将材料从有孔的遮影罩(遮影罩)上方蒸发而成。亚博网站下载
喷墨印刷法:由喷墨嘴喷出物料颗粒而形成图案的方法。yabo214
光刻法:在待加工的基材上涂布光刻胶形成薄膜,通过掩模曝光图案在光刻胶薄膜内发生光化学反应。这种微细加工方法通过显影在基片上形成一种类似掩模的光刻胶图案,并将光刻胶图案转移到基片上作为蚀刻的保护材料。
有机光电探测器:使用有机半导体的光电探测元件。
有机发光二极管:使用有机半导体的发光元件。