这希登引入了四极质谱仪探针的EQS系列，以测量真空环境中的外部离子，特别是用于应用SIMS表面分析技术。
现在，通过添加在直接进入区域上安装在直接测量次级中性（SNM）的探测区域的新的高效电子轰击离子源（SNM），从而进一步增强了系统，从水平为100％。
双重技术对各种表面分析有益于测量光学和冶金涂层，合金，腐蚀层，建筑涂层。SIMS和SNM都可以在整个连续的测量序列中使用，以通过最大的浓度范围提供量化的深度分析数据。
探针将质量和能量过滤器结合在一起，以使最佳光束传输效率以及精制的质量分辨率和丰度敏感性以及可选的质量范围选项可选高达2500AMU。它们可配备气体和金属的离子枪，以实现现有表面分析设施的SIMS/SNMS升级，或者作为完整的独立SIMS/SNMS工作站。
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