Rudolph Technologies，Inc。今天宣布了其新NSX的可用性®220自动宏缺陷检测系统。该系统以较低的价格为半导体、MEMS和LED市场的传统后端工艺提供了快速、容易的缺陷检测。
NSX 220系统加入了NSX 320系统家族的自动化宏缺陷检测和计量系统，用于最终制造设施。第一套NSX 220系统于7月在亚洲的一个主要外包组装和测试(OSAT)设施安装。
“NSX 220系统是我们的NSX 320系统的精简版，”鲁道夫检测业务部门副总裁兼总经理Mike Jost说。“NSX等车型的底盘220系统是专为传统宏观缺陷检测传统的半导体晶圆300毫米的MEMS和LED最终生产设施,虽然有时说说讴歌NSX 320系统是新一代先进的包装工艺和缺陷检测和三维测量晶圆450毫米。NSX 220系统得益于许多硬件和软件创新，这些创新使NSX 320系统成为先进封装领域的市场领导者，但其目标是不需要NSX 320系统提供的全套功能的后端设施。将NSX 220系统加入NSX系列，为我们的客户提供了最佳性能选择。”
NSX 220是一种自动宏观缺陷检测系统，使用灰度图像分析（具有彩色图像捕获），以在最终制造应用中提供快速，准确的检查和计量，用于尺寸为300mm的晶片。它可以检测传统的先进宏观缺陷，如划痕，机械损坏，异物，空隙和探测损坏，同时还在凸起，探头标记和边缘修剪过程中执行二维测量。亚博网站下载该系统在一系列分辨率（10μm - 0.5μm）上，具有明菲尔德和可选的暗田照明。从NSX 320系统的成功中杠杆的软件平台使用基于主机的图像处理，并在旧的NSX系列设备上提供了显着的可用性和生产力。app亚博体育使用中央管理的配方创建和编辑，多个NSX 220工具可以共享一个配方并匹配在FAB上。
可选的零售套件管理软件优化了NSX 220和320系统的生产率，并最大限度地减少了操作员辅助的需求。发现®该软件设计用于与Rudolph检查系统一起使用，以实现更快的解决方案的实时分析和减少离线审查的智能缺陷抽样。
有关NSX 220检查系统的更多信息，请访问http://www.rudolphtech.com.或者在semicon的鲁道夫展位®台湾2013年9月4-6日。
来源:http://www.rudolphtech.com.