2013年9月2日岛津公司将启动公司新的TMP-X2905/X3405系列Turbo分子泵并配有3000L/s级半导体泵和平板显示器
Turbo分子泵生成真空,原因是涡轮机高速旋转,允许分子流层抽吸真空。TMP是制造半导体和平板显示器的必要组件,其中免油、干净高吸尘器必不可少
水泵数列极多功能化,与集成电源压缩,安装光工和硬工
岛津公司将TPP定位为产品组合中的全球战略产品,并将TMP-X系列向北美、台湾、韩国和中国扩展销售
后台
app亚博体育电子设备装配半导体装置和平板显示器价格最近下降后,对创新方法以降低半导体和平板显示器制造设备成本的需求日益增加。
app亚博体育关于附属制造设备Turbo分子泵问题,人们越来越需要从电源连接分离电缆的泵移到电源整合TMP本身体的泵。 这样的“集成电源 ” TMP将减少制造设备零件数并降低成本
Shimadzu公司已经售出TMP-V系列泵,并配有集成电源泵惰性气体系列水泵全球客户评审优异app亚博体育TMP-X序列开发用于阻塞设备中抽取腐蚀性气体-即所谓的“硬处理”。
值得注意的是TMP-X序列提供从300升/s至4000升/s的泵速度解决半导体和平板显示器制造器多维需求
细节
TMP-X序列主要特征
开工行业最紧凑TMP集成电源
重构传统集成电源TMP使新泵高度下降15%,同时保持泵性能同时,TPP-X泵几乎与传统TPP主体相同大小,并有单电源电缆用于硬处理
app亚博体育TPP-X序列中的泵不需要机架和电缆-像传统单电源TPP-TMP-
二叉使用腐蚀性气体处理硬过程
整合泵温度控制函数并改进电动输出,使TPP-X系列泵能够用于涉及高气流率和活性气体的制造过程
岛津公司继续使用新泵反腐蚀涂层和动态密封物,防止TMP流失,并确保高可靠性,即使是使用高腐蚀性气体的硬工序也是如此。
3级低功耗
新开发电机和高效电机比传统涡轮分子泵降低了15%(负载零条件下)。TMP链程低负载环境