CEA-LETI和EV组（EVG）已经推出了一个为期三年的普通实验室，以优化与3D TSV集成和所有直接键合异质结构有关的临时和永久性键入技术。
该实验室在两个组织之间持续了十多年的合作，它专注于硬件，软件和流程开发。
EVG公司技术开发和知识产权总监Markus Wimplingerapp亚博体育表示：“临时和永久性键合设备和过程解决方案是EVG的关键产品。”“该项目利用CEA-LETI的全球领导能力用于晶圆键入研究以及EVG在开发晶圆粘结设备和过程技术方面的无与伦比的专业知识。”app亚博体育
CEA-LeTi首席执行官Laurent Malier说：“就像Leti与合作伙伴一起创建的所有常见实验室一样，该项目旨在生产特定的实用解决方案，以满足当前和未来的市场需求。”“这项合作是针对结果，这将使3D TSV集成在室温下使用共价粘结更加高效，更具成本效益和开放的晶圆粘结领域。”
莱蒂硅技术部负责人Fabrice Geiger说：“将这些方法带入可靠的晶圆粘合物需要创新的制造过程。”“普通实验室内开发app亚博体育的新设备和过程技术将允许令人兴奋的可能性，尤其是对于需要非常低温晶片的异质材料堆栈的可能性。”亚博网站下载
关于CEA-LETI
莱蒂（Leti）是CEA研究所，该研究所是法国研究与技术组织，其能源，IT，医疗保健，国防和安全活动。莱蒂（Leti）专注于通过技术转移到其工业合作伙伴来创造价值和创新。它专门从事纳米技术及其应用，从无线设备和系统到生物学，医疗保健和光子学。NEM和MEMS是其活动的核心。CEA-LETI是Minatec校园的锚点，在200mm和300mm的晶圆平台上运营8,000平方米的最先进的清洁室空间。它雇用了1,7000000名科学家和工程师，包括320 Ph.D.来自合作伙伴公司的学生和200名受让人。CEA-LETI拥有2200多个专利家庭。
有关更多信息，请访问www.leti.fr。
关于电动汽车组
EV集团（EVG）是用于制造半导体，微机电系统（MEMS），复合半导体，电源设备app亚博体育和纳米技术设备的设备和工艺解决方案的领先供应商。关键产品包括晶圆粘结，薄磁力加工，光刻/纳米印刷光刻（NIL）和计量设备，以及光泽师涂料器，清洁剂和检查系统。app亚博体育EV Group Services成立于1980年，并支持全球全球客户和合作伙伴的精心设计网络。有关EVG的更多信息可在www.evgroup.com