这ESPIONLangmuir风格的探针HIDEN分析is believed to be the most versatile commercial electrostatic probe currently available. The probe automatically reports the critical plasma characteristics of electron density and energy distribution, electron temperature, ion density, plasma potential and floating potential, providing the rapid accurate feedback essential for plasma-based process analysis and control.
脉冲等离子体可以为连续波血浆提供福利,以量身定制膜的生长和膜特性。快速的板载软件控制的正时电路,采集触发触发分辨率为62.5纳秒,使Espion能够通过在高达3MHz的脉冲频率下通过等离子体脉冲提供高分辨率分段的时间分析。其他功能包括探头尖端的强制空气冷却,可编程的自动清洁周期,用于自动探测尖端去污染,最高数据完整性的非常高的RF阻塞以及由于低频而导致的积分参考探测器补偿电极,以取消频率血浆潜力的漂移。
探针可以以静态和动态模式进行操作,具有完全可编程的UHV兼容线性运动驱动器,可提供线性行进范围为900mm。系统获得了20多年的血浆测量领域的连续制造经验,以及具有血浆诊断和处理的专业知识的全球工程师和科学家的支持网络。
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