牛津仪器该公司最近在伦敦纳米技术中心(LCN)安装并委托了PlasmaPro NGP80 app亚博体育RIE蚀刻系统，用于他们的研究。
PlasmaPro NGP80是一种紧凑、占地面积小的系统，易于现场和操作，且不影响工艺质量。它可以加工从最小的晶片到200mm的晶片，而开放式加载设计允许快速加载和卸载晶片，非常适合在LCN进行的研究。
LCN洁净室经理Steve Etienne评论道:“LCN是一家多学科企业，在科学和技术的前沿运营，其目的是通过纳米科学和纳米技术的应用，解决信息处理、医疗保健、能源和环境方面的全球问题。亚博老虎机网登录我们选择牛津仪器工具作为我们的研究项目，因为其优秀的技术规范符合我们的要求，此外，他们的加工工具的良好声誉得到了专家专家的支持。”
“我们非常高兴我们的系统被用于LCN的医学研究，”Mark Vosloo评论道，他是牛津仪器等离子技术的销售、CS和市场总监，“牛津仪器的大型工艺应用和技术团队不断研究，创新和提供先进的等离子蚀刻和沉积工艺和技术组合的新工艺。通过关注客户当前和未来的需求，牛津仪器能够提供领先的工艺解决方案，并通过我们卓越的全球支持网络进行维护。”
关于牛津仪器公司
牛津仪器设计、供应和支持高科技工具和系统，专注于研究和工业应用。它提供了推进基础物理研究和将其转化为商业纳米技术应用所需的解决方案。50多年来，创新一直是牛津仪器发展和成功的动力，其战略是通过及时将这些想法带到市场和以客户为中心的方式来实现成功的商业化。
牛津仪器公司是50多年前从牛津大学剥离出来的第一家科技公司，现在是一家全球性公司，在全球拥有1900多名员工，并在伦敦证券交易所FTSE250指数(oxg)上市。其目标是成为研究和工业部门新一代工具和系统的领先供应商。
这涉及低温、高磁场、超高真空环境、核磁共振、x射线、电子、光学计量、高级生长、沉积、蚀刻等核心技术的结合。
牛津仪器致力于通过科学和技术实现负责任的发展和对世界更深层次的理解。亚博老虎机网登录其产品、专业知识和理念解决了能源、环境、安全和健康等全球问题。
关于牛津仪器等离子体技术
牛津仪器等离子技术提供灵活、可配置的工艺工具和前沿工艺，用于精密、可控和可重复的微纳米结构工程。我们的系统为纳米尺寸特征的蚀刻、纳米层沉积和纳米结构的受控生长提供工艺解决方案。
这些解决方案基于等离子体增强沉积和蚀刻、离子束沉积和蚀刻、原子层沉积、深硅蚀刻和物理气相沉积的核心技术。产品范围从用于研发的紧凑独立系统，到批处理工具，以及用于高吞吐量生产处理的盒式到盒式集群平台。
对LCN
伦敦纳米技术中心是伦敦大学学院和伦敦帝国理工学院的合资企业，是一家在科学和技术前沿运作的多学科企业。亚博老虎机网登录www.london-nano.com