新PI MICOS MCS XY精密线性级设计用于工业表面计量/显微镜应用,并结合稳健性和高精度。
具有高分辨率和负载容量的双轴定位器
这种双轴定位系统可以处理载荷至45磅,并且由于其新颖的PIONE干涉线性编码器,仍然提供高达5纳米的分辨率和0.2μm的重复性。1nm分辨率可行,最大速度降低。
有关更多信息和链接到数据表Go:http://www.pi-usa.us/news/news_mcs_precision_xy_linear_translation_stage_metrology.php.
应用程序
对于在精密机加工零件的光学检查等领域,材料研究和地形测量的半导体/平板设计,运动和高动态的优异直接性也很重要。150x150mm的大清晰孔是有益的传输的光应用。
稳健的阶段在两个轴上提供102毫米(4英寸)的定位范围,实现±2μm的直线/平整度。角度精度也非常好,只有±20μrAd的偏航和±40μr的间距。
由PI MICOS的Compact SMC Hydra运动控制器驱动,MCS级达到速度范围从低至1μm/秒,全部为200毫米/秒(8英寸/秒)。
电机驱动器选项
几种电机和位置反馈选项提供。对于不需要闭环操作的应用,提供低成本开环步进电机。几个闭环版本可用于更高的性能要求:步进电机,直流伺服电机和直接驱动电磁非接触直线电机。
直接驱动线性电机提供最高速度。极光滑的运动,用PI MICOS步进电机和PI MICOS运动控制器实现低端恒定速度下降到单位数微米/秒。
MCS XY精密定位台也可以与线性垂直级,旋转级和焦管杆组合。
真空定位器
PI MICOS专用于10-3至10-10托的真空兼容定位系统。基本上,我们的所有线性和旋转级也可以订购真空使用。