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关于牛津仪器等离子技术
牛津仪器等离子技术为微和纳米结构精确可控可重复工程提供柔性可配置过程工具及前沿进程系统为纳米尺寸特征、纳米层沉积和纳米结构受控生长提供进程解决方案
解决方案基础是等离子增强沉积和取层、离子波沉积和取层、原子层沉积、深硅缓存和物理蒸气沉积核心技术产品范围从紧凑单机研发系统到批量工具并上至高通量生产处理集群磁带对盒式平台