总部位于Köthen的德国安哈尔特应用科学大学最近购买了一个亚博老虎机网登录牛津仪器PlasmaPro®System100 ICP 65工具承接使用黑硅工艺的晶体硅太阳能电池领域的光伏研究。
牛津仪器等离子技术使用我们的灵活工具和关键技术制定了许多用于生产光伏的过程。PlasmApro System100 ICP 65非常适用于这种类型的研究，主要特征包括从Cryo到高达400ºC的延长过程温度范围，以及在稍后的时间点升级ICP-CVD技术的可能性。
评论伯纳尔大学伯纳德博士教授，“无面罩硅干蚀刻工艺”可用于织物织物衬底的表面以产生黑色Si。减小的反射率为细胞的光捕获提供了更大的潜力。使用干蚀刻工艺以产生表面纹理与硅衬底的晶体结构无关，并且可以施加到晶片的一侧。我们选择了PlasmApro系统，因为它提供了我们研究所需的所有功能。“
“牛津仪器Plasmapro System100工具的经过验证的多功能性使其成为Anhalt University的Black Si PV研究的”选择性系统“，使用调谐蚀刻工艺表示，牛津仪器等离子技术Mark Vosloo说，销售，营销和CS总监Mark Vosloo说。“我们的尖端设备为应用学术研究提供了app亚博体育一个合适的基础，我们为自己参与提供了为许多应用包括PV的材料提供了微型和纳米工程的过程解决方案。”亚博网站下载
关于Oxford Instruments plc
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这涉及核心技术在低温，高磁场和超高真空环境，核磁共振，X射线，电子和光学的计量等领域的组合，以及先进的生长，沉积和蚀刻。
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