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Plasma和IonBeamEtch和沉积系统实现新升级

牛津仪器等离子技术最近启动新系统升级选项 以开发前端缓存和沉积工具

新的升级范围包括:

  • X20控制系统提供极快扫描速度和处理结果异常精确控制并极精确数据记录
  • MaglevTurbo替换当前传统承接Turbo泵,提高泵速度和最高达15%的吞吐量MaglevTurbo极强并提供高性能并增加闲置时间
  • Etch和沉积端点检测选项实现最优过程条件和结果光端点可实时室净端点检测,增加工具可用性并降低拥有成本

Mark Vosloo,Service,CS营销主管牛津仪器等离子技术评论:“我们致力于提供优秀客户服务预售和后售新的升级范围旨在为客户提供最新硬件,使他们有机会提高牛津乐器系统性能并延长使用寿命。”

Plasmalab、PlasmaPro和Ionfab系统大全

牛津仪器等离子技术所有升级选项可见网站www.oxford-instruments.com/upgrades

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    牛津仪器等离子技术2019年2月09号Plasma和IonBeamEtch和沉积系统获取新升级范围AZOM2023年3月9日检索网站s://www.washintong.com/news.aspx?newsID=34684

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    牛津仪器等离子技术Plasma和IonBemEtch和沉积系统实现新升级AZOM.2023年3月9日 .

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    牛津仪器等离子技术2019Plasma和IonBeamEtch和沉积系统实现新升级.AZOM浏览2023年3月9日网站s/www.washintong.com/news.aspx?newsID=34684

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