牛津乐器本周启动PlasmaPro100系统,系统最适于多关键市场应用,包括MEMS、HBLED、半导体电子学、故障分析学和光电演算学
牛津乐器PlasmaPro100系统,
这是一种先进创新系统,由牛津工具开发,以满足生产用户的严格需求,这些用户不仅需要最新技术创新,而且还需要公司提供超级客户支持。
牛津仪器公司是等离子提取沉积系统的主要行业制造者,它不断努力改进并进化系统以提供终极工具最新系统提供量
- PECVD硬件演化高质量SiO2和SiNx沉积率阶梯变化
- 上一代Cobra比较方案源码提供拉伸率和特征控制能力的提高
- 行业识别机器人处理器和能力,加强牛津工具公司作为插件游戏硬件和优化流程供应商的地位
- 增强系统控制基础设施和软件接口为客户提供改进诊断、可靠性和实用性
PlasmaPro100系统提供牛津仪器等离散技术所有进程和技术的共同平台,这是一个高度可配置系统,处理室可独立模块或集群配置提供
高产品管理员Ian McKinlay评论道 道 道 道 道 道 道 道 道 道 道 道存取超过6000个流程配方的专用库, 并建建超过25年作为顶尖等离子工具制造商,