应用材料,创新设亚博网站下载备,服务和软件的提供商,使生产先进的半导体,平板显示器和太阳能光伏产品,app亚博体育已经引入了应用的UVISION 5晶圆检测系统,以监控逻辑临界图案化层的缺陷设备。
该系统具有深紫外线(DUV)激光器,还包括灰场和亮场光收集功能。这些特性为晶圆片提供了光强,几乎是早期工具的两倍。因此,该系统能够检测多达两倍数量的有害缺陷,其无与伦比的灵敏度使半导体制造商在制造他们的最小电路特性时获得更稳健的控制。
应用材料的强大光学系统的UVISION 5提供的光密度高达两倍,它比其竞争工具收集到散亚博网站下载射光的高达30%。该元件与创新的专有图像处理算法集成了晶圆检测系统的检测能力,包括重要的监控应用,包括EUVL层,双和四边形图案化和ARF浸入式光刻。
UVision5工具为代工客户提供了节省时间的好处,加快了每年快速增加大量新型芯片设计生产的复杂任务。此外,该工具可以使用设计信息创建布局数据,从而提高缺陷捕获率,并在每次检查过程中节省近15小时的操作时间。
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