希登分析质谱仪提供直接的实时等离子体监测，用于过程离子和过程中性物质的分析，处理压力范围从10E3mbar到大气和所有特色我们的最新，最快的系列8 PC接口。所有系统都完全兼容Windows 7和XP操作系统。
隐藏式EQP等离子体监测器，集成驱动电极。
EQ/PS系列提供可选的正离子/负离子或正离子测量过程离子强度，质量和离子能量，脉冲离子计数探测器提供连续的动态范围整整70年。原子质量范围可达1000 amu，能量范围为+/-100 eV和+/-1000 eV。先进的低直径离子传输光学器件使取样孔的深度穿透可达750毫米。多种扫描模式提供了系统设置优化的所有关键参数的扫描，包括质量范围的扫描，过程离子能量，电子倍增电压对离子强度。内部电子轰击离子源能使中性物质电离。
涡轮分子泵的减压级用于维持质谱仪在特高压环境下的运行-取决于过程压力的单级、双级或三级。系统选项包括磁筛选，集成驱动电极，电子附件模式的电负物种，线性运动驱动器和水冷为高功率应用。应用领域包括等离子蚀刻、沉积、涂层和工艺开发，包括大气等离子针性能量化。