应用材料AKT-亚博网站下载PECVD电影帮助产生金属氧化物显示

应用材料引入了一亚博网站下载种新的等离子体增强化学气相沉积(PECVD) "电影技术制造高分辨率高性能下一代电视和平板电脑显示器。

新的AKT-PECVD电影允许利用金属氧化物电晶体,产生微小、快速交换生产高分辨率屏幕像素。先进的绝缘膜稳定性的提高金属氧化物晶体管,并将改进的屏幕性能通过提供一个介电层接口减少氢杂质的晶体管。

应用材料的AKT亚博网站下载-PECVD系统可以统一把这些优良的氧化硅薄膜与高精度玻璃表有一个规模高达9米2。这种能力是一个关键的制造业获得低生产成本和高输出。

除了小说PECVD电影,"应用材料目前开发复杂的PVD IGZO沉积金属氧化物亚博网站下载生产等解决方案。公司演示了低次品的沉积,均匀活跃层与较小的材料和更高的吞吐量利用最新的旋转阴极阵列技术相比,现有的PVD的解决方案。亚博网站下载

根据汤姆•埃德曼集团副总裁兼总经理AKT显示器业务集团在应用材料,由金属氧化物显示制造商的投资晶体管功能不断增加,和公司的先进PECVD电影打破障碍"部署这个关键技术解决复杂介质的稳定性和均匀性问题的电影。亚博网站下载公司提供了一个快速和低成本的方法将这种技术的市场扩展的功能AKT-PECVD系统介电薄膜沉积金属氧化物的晶体管。

来源:http://www.applied亚博网站下载materials.com

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  • 芝加哥

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  • 哈佛大学

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