卡尔蔡司公司推出了AURIGA激光器，这是一种新的先进系统，结合了AURIGA CrossBeam (FIB-SEM)工作站的独特优势，以及用于快速烧蚀材料的脉冲微聚焦激光器的能力。
AURIGA激光对于目标结构深埋在材料层下的样品的检查特别有用。为了进入目标结构，这种材料需要被移除，这是传统技术难以实现的。大体积材料的机械烧蚀和横截往往会引起变形，使样品不适合进一步检查。相比之下，应用聚焦离子束效率很低，因为这个过程太慢了。
新型AURIGA激光器将经过验证的FIB-SEM操作与基于纳秒脉冲、二极管泵浦固态激光器应用的新材料烧蚀能力相结合。
脉冲微聚焦激光束消融具有明显的优势:它不会损伤样品，而且消融速率与机械去除相当。
在这种独特的解决方案中使用的扫描激光器是由TRUMPF AG (Ditzingen, Germany)提供的一纳秒脉冲二极管泵浦固体激光器，工作波长为355 nm。它是从广泛的不同类型的激光器中选择的，以最优地满足制备SEM检测结构的要求。在与卡尔蔡司的合作,弗劳恩霍夫研究所的研究人员对无损检测(IZFP Fraunhofer-Institut毛皮Zerstorungsfreie Prufverfahren)在德累斯顿,优化了工作流程的创新工具,易于使用,快速转移过程和快速搬迁地区的样本在检查中,利息在合作中占据中心地位
为了保护AURIGA FIB-SEM工作站和探测器在激光烧蚀过程中产生的碎片，该系统配备了一个单独的腔室用于激光操作。用激光制备感兴趣的结构后，样品在真空条件下转移到主室进行扫描电镜检查或FIB抛光。自动实现目标结构的检索。转换可以在几秒钟内快速而顺利地完成，从而形成一个非常简单且连续的工作流程。为了实现特定的烧蚀模式，激光配备了CAD软件控制扫描头。这使得用户能够预先定义样本结构的高度复杂的模式。
AURIGA激光是市场上第一个这样的仪器。卡尔蔡司横梁产品线总监Martin Kienle博士相信:“AURIGA激光是一个里程碑，它简化了各种创新材料和结构的扫描电镜检查，克服了传统制备方法的局限性。亚博网站下载它使用户能够进行新的应用，并检查复杂的结构，如下一代纳米技术处理器或柔性薄膜太阳能电池。”未来的应用领域包括半导体制造、光伏、聚合物电子、连接和接触技术、石油和天然气勘探、地质力学咨询、制药、生命科学和材料研究。亚博网站下载亚博老虎机网登录该系统还适用于制备含有软或脆性相的微系统，如泡沫、轻质建筑材料、玻璃纤维或陶瓷、复合材料、孔隙过滤器、电池、燃料电池或地质样品。亚博网站下载