牛津仪器将在世界级量子技术中心使用等离子体系统

从牛津仪器等离子体技术2012年2月21日

位于英国的兰开斯特大学将成为其新的世界级兰开斯特量子技术中心(LQTC)的一部分牛津仪器公司等离子体系统作为其发展物理科学战略的一部分。亚博老虎机网登录

多功能且经验证的牛津仪器等离子技术PlasmaPro NGP80和PlasmaPro System100 ICP蚀刻系统因其灵活性和适用性而被选中，以支持多用户LQTC希望在其洁净室中运行的多种应用。其拥有6000多个配方的广泛工艺库及其卓越的客户支持牛津仪器公司的系统是LQTC的理想选择。

兰开斯特大学半导体物理与纳米结构研究小组负责人托尼·克里尔教授评论道，“这些新的牛津仪器蚀刻工具将使我们能够在一系列半导体上进行干等离子体蚀刻和纳米图案，包括窄间隙锑化物和稀氮化物，用于中红外光源和探测器。它们还将被用于开发新型太阳能电池、量子点存储器、纳米电子结构等。

克里尔教授接着说，“新的洁净室设施为工业和学术研究人员提供了一个关注点，他们对制造纳米结构感兴趣，使他们能够研究量子现象。我们之所以选择牛津仪器，是因为其卓越的技术规格和加工工具的良好声誉得到了专家的支持。”

牛津仪器等离子体技术销售和客户支持总监Mark Vosloo说:“牛津仪器的成立是将科学引入市场的结果，我们很高兴成为英国科研能力这一亚博老虎机网登录重大发展的一部分。牛津仪器通过创新将智能科学转变为世界级产品，满足21世纪及以后的需求。”亚博老虎机网登录

引用

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美国心理学协会
牛津仪器等离子体技术。（2019年，2009年2月）。牛津仪器等离子体系统将在世界级量子技术中心使用。亚速成。2021年10月5日从//www.washintong.com/news.aspx?newsID=32088.
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牛津仪器等离子技术。“牛津仪器等离子系统将用于世界级量子技术中心”。AZoM．2021年10月05。< //www.washintong.com/news.aspx?newsID=32088 >。
芝加哥
牛津仪器等离子体技术。“世界级量子技术中心使用的牛津仪器等离子体系统”，AZoM。//www.washintong.com/news.aspx?newsID=32088. （查阅日期：2021年10月5日）。
哈佛大学
牛津仪器等离子体技术。2019。牛津仪器将在世界级量子技术中心使用等离子体系统. 亚速姆，查阅日期：2021年10月5日，//www.washintong.com/news.aspx?newsID=32088.