Veeco的MOCVD工具被选择用于开发硅晶圆上的led

Veeco仪器，制造用于开发和生产硬盘驱动器，太阳能电池，LED等设备的过程设备的制造商已app亚博体育经宣布选择其氮化镓（GaN）金属有机化学气相沉积（MOCVD）系统，由Epistar致以Curbodisc K465i在硅基板上生长发光二极管（LED）。

Epistar是一家紧凑型LED的台湾制造商，可消耗更少的功率，具有高亮度和长效的寿命。该公司提供全谱的高亮度LED。这些LED通常用于交通信号，室内/室外显示器，用于几种消费电子设备的指示灯，LCD背光，汽车外观和室内照明，扫描仪照明，传真机以及作为一般照明的光源。

Epistar总裁M. J. Jou表示，该公司很高兴选择Veeco Instruments公司的TurboDisc K465i作为GaN-on-Si开发系统。Jou补充说，由于该公司迁移到更大的晶圆尺寸，它对GaN-on-Si技术的前景感到高兴。

Veeco仪器的工艺设备执行副总裁威廉J. Marer表示，该公司对Epistaapp亚博体育r的Turbodisc K465i令人兴奋。K465I为Epistar的Gan-Si LED开发提供生产价值和低成本的所有权。米勒结束，大直径硅晶片对蓝宝石的低成本更换，适用于批量生产的廉价LED。

来源：http://www.veeco.com/