Veeco将向韩国晶圆制造商交付MOCVD系统

LG Sirtron是一家位于韩国的外延晶圆制造商，它选择了Veeco Instruments的氮化镓金属有机化学气相沉积（MOCVD）系统TurboDisc K465i，用于制造用于LED设备和电力电子设备的硅上氮化镓（Si上GaN）晶圆。

随着传统的硅基功率晶体管接近极限，氮化镓现在是提供低成本快速能量转换的首选材料。包括智能电网、太阳能、风能和混合动力电动汽车等绿色技术在内的众多行业正在加速对基于氮化镓的节能电力电子产品的需求。Si上的GaN还可以提供一种用于生产led的可选方法。

据LG Sirtron研发部总经理Hee Bog Kang博士介绍，TurboDisc K465i MOCVD系统是该公司第一个GaN硅上晶圆制造系统。除了提供前所未有的吞吐量优势外，新系统的涡轮盘技术还提供了更高的同质性和低粒子数，这是在硅晶片上制造GaN的关键。Kang补充道，该公司感谢Veeco Instruments的大力支持，并希望未来能有更多这样的合作伙伴。

Veeco Instruments过程设备执行副总裁William J. Milapp亚博体育ler表示，该公司对LG Siltron选择K465i感到高兴。K465i具有更高的产量和较低的拥有成本。GaN-on-Si功率器件市场持续增长，K465i提供了几个好处，包括提高生产率、降低生产成本和提高设备性能。

来源:http://www.veeco.com/