牛津仪器等离子技术已从Hanwha Group的Santa Clara实体获得了其plasmapro System100多室内群集工具的订单。群集工具由溅射模块和PECVD的组合组成。该工具将安装在加利福尼亚州圣克拉拉的Hanwha Solar America的高级PV研究实验室。
Plasmapro System100多室簇工具将使Hanwha太阳能对与晶体硅太阳能电池的发展相关的新细胞概念，材料和特征进行研究。亚博网站下载
牛津仪器美国副总裁斯图尔特·米切尔（Stuart Mitchell）表示，汉瓦（Hanwha）太阳能订单强调了其作为全球学术组织研发设备供应商的地位。app亚博体育
Hanwha Solar America’s Lab Director, Dr. Paul Basore announced that the establishment of the advanced research and development center for photovoltaics study formed part of the company’s worldwide R&D network. Hanwha selected Oxford for its expertise, products and global support, he added.
牛津仪器等离子技术提供了可配置的过程和工艺工具，以执行纳米结构的准确，可重复和可控制的工程。它还生产血浆蚀刻和沉积工具。Hanwha Solar America是Hanwha Holdings子公司，旨在在硅谷建立高级光伏太阳能技术的研发中心。
Source:http://www.oxford-instruments.com/