EV组，用于半导体，纳米技术和MEMS产业光刻和晶片键合设备的提供者，扩展了它的GEMINI FB融合晶片键合机的组合，推出了一种新平台称为XT框架改善工具功能和过程在整个大部分其现有大批量产品。
ev集团的新XT框架平台（信用：PRNEWSFOTO / EV集团）
EV集团的XT框架平台，专门开发，以满足大规模生产客户的需求，能够容纳最多九个流程模块，这比为改进工艺吞吐量公司早先最佳处理功能要高两倍。此外，它提供了更多的选择，以顾客为上的一个工具平台适应各种工艺模块。
XT帧架构提供超快处理工具，设备前端模块，四个前开放统一吊舱（FOUP）负载端口和足够的模块空间，用于同时处理众多晶片。这些功能以及作为本地FOUP存储系统的材料缓冲区提供不效率的不间断操作模式。该平台满足了额外的客户需求，包括紧凑的尺寸，增强的可维护性，通过单个设备上的各种过程模块组合来通过组合各种过程模块来实现更容易的可维护性，易于升级性和更多的过程选项。app亚博体育
EV集团的XT框架是专为与硅通孔复杂的三维包装互联应用而设计。在这方面，新的架构能够提高公司的标准临时薄晶圆和粘合性能或剥离处理系统。为了证明该平台的能力，该公司已经开发出它的EVG850TB / DB系统。该EVG850TB / DB系统也能够适应公司的边缘区域松解和边缘区域释放模块，以补充ZoneBOND技术。
来源：http://www.evgroup.com.