作为离子束技术和系统制造的领导者，牛津仪器等离子技术公司应用和技术团队定期产生技术白皮书，最新的离子束蚀刻，现在是可用的。
牛津仪器的Ionfab300Plus离子束系统。
该白皮书由该公司的高级离子束应用和技术专家Sebastien Pochon博士和Dave Pearson博士撰写，介绍了离子束蚀刻技术的综述。它考虑了在蚀刻过程中使用这种技术的主要应用和优点，与等离子蚀刻技术相比。首先概述了离子束是如何产生的，然后介绍和讨论了离子束技术的工艺应用。
该白皮书可通过联系牛津仪器获得，网址是(电子邮件保护)
评论罗伯特•甘恩应用程序团队经理在牛津仪器等离子技术,“为了提供最好的离子束和等离子体系统,我们经验丰富的团队的应用工程师和技术人员继续开发和研究他们的专业领域,因此我们提供我们的客户很多技术论文,比如这份白皮书，还有6000多个食谱的过程库。”
作为离子束技术和系统制造的全球领导者，牛津仪器公司的离子束工具系列包括Ionfab300Plus，它提供了在最大化系统利用率的同时进行刻蚀和/或沉积的灵活性，Ionfab500Plus设计用于超高质量光学薄膜，以及Optofab3000，专为高质量的光学应用而开发。