牛津仪器宣布推出PlasmaPro Estrelas100，新的深硅蚀刻技术，提供行业领先的工艺性能，并为MEMS市场提供灵活的解决方案。
考虑到研发市场，PlasmaPro Estrelas100提供了终极的工艺灵活性。纳米和微结构可以实现，因为硬件的设计具有运行博世和低温蚀刻技术在同一腔室的能力。从光滑的侧壁工艺到高蚀刻速率工艺，PlasmaPro Estrelas100已经被开发出来，以确保在不需要改变腔室硬件的情况下可以实现各种MEMS应用。
随着新型微电机械系统（MEMS）的开发和商业化成为现实，传统的设备如加速度计，陀螺仪和麦克风继续看到许多消费电子产品，显示器和汽车应用中的采用增加。MEMS可以提供一种解决方案，其中需要小型化设备或传感器的要求。R＆D相中出现的器件包括能量收集;扬声器;RFID;Pico投影仪;振荡器;微燃料电池;和其他别人的自动对焦技术。
“牛津仪器等离子技术继续提供解决现有和新兴应用的技术，即在MEMS市场中解决现有和新兴应用程序，”牛津仪器等离子技术销售总监“我们的技术提供了广泛的流程和应用程序组合，使我们今天能够识别许多申请和明天的那些。拥有超过19年的MEMS研发经验，我们了解市场，并解决客户的需求，为他们提供最具创新性的工具。“
通过优化的硬件和流程控制，耦合具有优秀的全球客户支持的低廉的拥有成本，意味着牛津仪器继续为客户提供优质的产品。
这一最新的系统开发加强了牛津仪器公司的目标，即基于我们在最小规模上分析和操纵物质的能力，成为工业和研究市场的新一代工具和系统的领先供应商。该公司利用创新将智能科学转化为世界级的产品，支持研究和产业应对21世纪的巨大挑战。亚博老虎机网登录